超纯水是一种电阻率极高的水，其导电介质几乎完全去除，并且水中的胶体物质、气体和有机物也被去除至很低程度。具体来说，超纯水的电导率通常在0.1—0.055μs/cm之间，电阻率（25℃）大于10^14Ω·cm，含盐量低于0.1mg/L。理想状态下，超纯水的电导率可达0.05μs/cm，电阻率（25℃）为18.3×10^14Ω·cm。
超纯水在制备过程中，一般会经过预处理、去离子化、反渗透技术或其他超临界精细技术，以去除水中的无机离子、有机物、微生物和其他杂质。由于其极高的纯净度，超纯水常用于半导体工业、纳米技术、精密仪器清洗等领域，也用于一些对水质要求极高的实验和研究中。
需要注意的是，虽然超纯水纯净度极高，但不含有人体所需的矿物质微量元素，因此不适合直接饮用。在某些情况下，超纯水可以煮沸后饮用，以去除可能存在的微量杂质