洁净室(Clean Room)亦称无尘车间、无尘室或清净室,是指 对空气中的微粒、有害空气、细菌等污染物进行严格控制的密闭空间。其主要功能是控制空气污染,将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内。
洁净室根据用途和气流流型的不同,可分为各种不同冠名的洁净室。它们可以包含从完整工厂安装的广泛区域到几平方米的面积,甚至是只有一个工作台的小区域。洁净室通常具有垂直气流(高房间除外,通常具有水平气流),并使用特定的墙板(整体式、硬墙、软墙)建造。
洁净室在多个领域有广泛应用,例如在电子、半导体、医药、生物技术等行业,它们用于确保产品(如硅芯片、药品等)在生产过程中不受外界污染,从而保证产品质量和安全性。
总的来说,洁净室是一个高度控制的环境,通过精确控制空气中的污染物和室内环境参数,为特定应用提供清洁、安全的生产或研究空间。