X射线光电子能谱（X-ray Photoelectron Spectroscopy，简称XPS）是一种表面成分分析技术，它利用高能X射线照射样品，测量从样品表面逸出的光电子的动能和数量，从而获得关于样品表面元素组成、化学状态和电子态的信息。这项技术广泛应用于材料科学研究，对于材料开发、剖析和失效机理分析等领域具有重要作用。
XPS技术特点包括：
表面分析：主要用于分析材料表面的化学成分和化学状态。
高灵敏度：能够检测到材料表面以下1纳米到10纳米深度的电子。
定量分析：可以定量表征样品中各元素的相对含量。
适用性广：可用于多种材料，包括金属、半导体、有机物等。
环境要求：需要在超高真空环境下进行测试。
XPS技术与其他分析技术如俄歇电子能谱（AES）常常配合使用，可以提供更为全面的材料表面分析信息