超纯水是指 电阻率达到18MΩ·cm（25℃）的水。这种水中除了水分子外，几乎没有什么杂质，更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物，也不含人体所需的矿物质微量元素。超纯水是通过蒸馏、去离子化、反渗透技术或其他适当的超临界精细技术生产出来的，其电阻率通常大于18MΩ·cm，或接近18.3MΩ·cm的极限值。
超纯水的制备通常包括预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤，通过多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，以确保水的电阻率达到所需标准。
超纯水广泛应用于半导体材料、纳米精细陶瓷材料等超纯材料的研制，以及在生物、医药、汽车等领域。由于其极高的纯净度，超纯水一般不可直接饮用，对身体有害，且会析出人体中很多离子。