高真空是指在一个容器或系统中,空气中的气体分子被高度稀释,几乎不存在气体分子的一种状态。具体来说,高真空通常需要将系统内的压力降低到1×10^-3 Torr(托尔)或更低,以实现气体分子的高度稀释。
高真空的应用领域包括电子器件制造、半导体制造、真空镀膜、表面科学等,这些领域都需要极高的真空度来确保工艺的精确性和可靠性。
高真空的数学定义和物理定义:
数学定义:
高真空是指压力在1×10^-3到1×10^-6毫米汞柱范围内的真空。
物理定义:
在一个给定的空间,当内部气体分子被抽得很稀薄,压强低于一个大气压以下时的状态叫真空。气体的稀薄的程度叫真空度。当真空度低于1×10^-1到1×10^-6Pa时称为高真空。
需要注意的是,虽然人类可以制造出非常高的真空度,但由于容器本身也会由于扩散现象而无法达到绝对真空状态,因此真正意义上的绝对真空是不存在的。