真空泵使用的是专门设计的润滑油，称为真空泵油，主要分为矿物油和合成油两种类型。这些油品具备以下特性：
氧化稳定性：
能够在高温条件下与空气、树脂、化学原料等长时间直接接触而不易变质，有助于减少有害漆膜和油垢的形成，从而延长换油周期。
防锈防腐蚀性：
能在金属表面形成保护膜，防止系统腐蚀。
抗乳化能力：
有助于油品与水分快速分离，维持真空泵所需的真空度。
粘度和粘温特性：
合适的粘度可以确保润滑油在真空泵内部有效润滑、冷却和密封。
热氧化安定性：
油品在高速摩擦下不易氧化分解，尤其在高温环境下工作的扩散泵中尤其重要。
抗腐蚀和抗乳化性：
能够抵抗腐蚀性气体和空气中水汽的腐蚀和乳化作用。
选择真空泵油时，应根据设备制造商的推荐和具体工况要求，选用适当的使用性能和粘度等级的油品。