ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪）中使用的气体主要有三种，分别是氩气、氮气和氧气，具体应用如下：
氩气
主要用途：氩气在ICP-MS中作为载气、辅助气和冷却气。它用于维持等离子体的稳定性、控制离子流量以及冷却等离子体炬管，确保仪器的正常运行。
消耗量：氩气的消耗量相当大，例如，在高速率下，每分钟消耗17L，每小时消耗约1020L。
氮气
主要用途：氮气主要用于保护光谱仪的离子光源和减少气体污染。
氧气
主要用途：氧气用于增强样品的氧化反应，特别是对于有机物和还原性元素的分析。
此外，根据不同的分析需求，ICP-MS还可能使用其他气体，例如：
氦气：在某些情况下，如使用碰撞反应池时，可能需要氦气。
氢气、 氨气：这些气体可能在特定的分析应用中使用，但不如氩气、氮气和氧气常见。
综上所述，ICP-MS主要使用氩气、氮气和氧气，具体使用比例和用途根据分析需求而定。