氦检漏的原理主要基于氦气的高穿透性和易于检测的特性。以下是氦检漏的基本原理：
氦气特性 ：氦气是一种无色、无味、无毒的惰性气体，具有很小的分子尺寸，能够轻易穿过非常小的缝隙和漏洞。检漏方法
氦质谱检漏：
使用氦气作为示踪气体，通过氦质谱检漏仪检测侵入的氦气。检漏仪利用质谱技术，将气体分子电离，并测量不同质量的离子在磁场中的运动轨迹，从而确定气体样本中的成分。如果检测到氦离子，说明存在泄漏。
光学和声学检漏：使用激光或声波技术来检测氦气泄漏。当激光被氦气泄漏的空气反射回时，检漏设备会发出报警信号。声学原理则是通过检漏仪检测氦气浓度的变化，通过声音、指示灯或显示器提示用户。
操作过程
将工件放在真空箱内，真空箱与工件自动密封。
系统自动完成大漏检测、抽真空充氦、检漏、回收整个过程。
精度和灵敏度：
氦检漏技术可以达到非常高的精度和灵敏度，精度可达5*10^-12 mbar·L/S，能够检测出非常小的漏洞。
氦检漏技术因其高效、简便、灵敏度高以及不易受其他气体干扰的特点，在真空检漏领域得到了广泛应用