高纯六氟化硫（High Purity Sulfur Hexafluoride，简称SF6）是一种 无色、无味、无毒、不燃且化学性质稳定的高压气体。它在常温常压下为气态，但在装瓶后会变为高压液体。高纯六氟化硫的纯度通常在99.9%至99.9999%之间，具体纯度取决于应用需求。
高纯六氟化硫在微电子技术领域有着广泛应用，例如作为电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。此外，它还可以用作氮准分子激光器的掺加气体。在半导体工业中，高纯六氟化硫用于等离子蚀刻工艺，以及在光导纤维制造中作为隔离层掺杂剂。
高纯六氟化硫还具有良好的电气绝缘性能和灭弧性能，因此被广泛应用于电力行业，如110kV以上断路器、高压开关、高压变压器、气封闭组合电容器、高压传输线、互感器等设备的制造和维护。
在采矿工业中，高纯六氟化硫可以作为反吸附剂，用于处理矿井中的煤尘问题，通过置换氧气来减少煤尘对工人身体健康的影响。
综上所述，高纯六氟化硫是一种在多个高科技领域中发挥关键作用的特种气体，其纯度和性质使其成为现代工业不可或缺的组成部分。