MEMS传感器，即 微型电子机械系统传感器，是一种集成了微型机械结构、电子元件以及信号处理电路的微型传感器。它是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术。MEMS传感器具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。
MEMS传感器的工作原理包括光学、声学、电磁学、热传导、压电等各种物理原理。例如，温度传感器基于热电效应，光传感器使用光敏材料，压力传感器则根据弯曲或压缩引起的电阻或电容变化来工作。
MEMS传感器广泛应用于各种领域，如汽车、航空航天、医疗、环境监测、工业自动化等，用于测量和检测各种物理量，如压力、温度、加速度、角速度、湿度等。
与传统传感器相比，MEMS传感器在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能，并且具有更高的集成度和智能化水平。例如，MEMS传感器可以实现更加精确的测量，同时具有更低的功耗和更高的可靠性。
总之，MEMS传感器是一种新型的微型传感器，具有广泛的应用前景和巨大的发展潜力。