分子泵是一种 真空泵,它利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走。分子泵的工作原理主要基于分子束和旋转叶片的作用,其结构包括一个旋转的叶轮、磁轴承、分子漏斗和抽出口等。当分子泵启动时,叶轮开始高速旋转,通过动量传递使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。
分子泵具有高真空、高效率、低能耗、低维护等优点,适用于各种需要高真空度的工作环境,如电子、半导体、航空航天、医疗等领域。根据工作原理和结构的不同,分子泵可分为以下几类:
牵引分子泵:
气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
涡轮分子泵:
靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合来实现抽气,通常在分子流状态下工作。
复合分子泵:
由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合型的分子真空泵。
分子泵的抽气机制有别于传统机械泵依靠泵腔容积变化抽气,它以动量传递原理为基石,驱动气体分子定向流动实现抽气。凭借工作的稳定可靠与分子流态下卓越的抽气效率,分子泵已成为清洁高真空和超高真空领域获取真空的关键设备,广泛应用于科学仪器及工业生产设备。