石英舟是什么

左芳精彩说 · 2025-01-01 20:37:01

石英舟是一种 高温陶瓷制品,也被称为石英舟晶圆舟、石英晶圆舟、石英玻璃等。其主要应用范围包括半导体行业、光纤、光学、光伏、电光源、航空航天等领域。石英舟以含二氧化硅物质(如水晶、硅石)为原料,通过高温熔制而成,其二氧化硅含量通常在99.999%以上,具有优异的光学性能、耐酸材料性能、电学性能和热膨胀系数特别小等特点。

在半导体行业中,石英舟主要用于芯片制造过程中的高温热处理工艺,包括燃烧化学蒸发、气相输运、淀积、扩散、蚀刻、退火等工序。此外,石英舟也作为关键材料被广泛应用于其他高科技领域,如光纤、光学、光伏、电光源、航空航天等。

石英舟的制造工艺要求极高,需要在高温下保持稳定性和纯度,以确保其在各种极端环境下的可靠性能。

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