扫描电镜(Scanning Electron Microscope, 简称SEM)是一种 利用电子束扫描样品表面来产生图像的显微镜。其工作原理是通过聚焦高能电子束在样品表面进行扫描,并利用各种信号检测器收集样品的特征信息,如二次电子、背散射电子、X射线等,从而获得样品的形貌、组成和结构信息。
扫描电镜具有以下特点:
高分辨率和高放大倍数:
能够观察样品的表面细节和微观结构。
大景深:
视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
灵活性:
样品处理能力较强,几乎不损伤和污染原始样品。
多功能性:
可配备X射线能谱仪装置,进行显微组织形貌的观察和微区成分分析。
扫描电镜在材料科学、生物医学、地质学等众多领域有着广泛的应用,是科学研究的重要工具。