真空泵出现故障的原因可能包括以下几类：
温度过高
被抽气体温度过高，应让气体冷却后再进入真空泵内。
吸入硬物使真空泵体磨损，应拆开真空泵除去硬物，并对划伤部件进行修复或更换。
真空泵冷却水流不够，应加大冷却水流量。
装配不当，使转子轴心位移，造成单面磨损，应拆开检查并重新装配。
油质问题
油位过低，应加足油量到油标中心线。
油被玷污，油质变坏，应更换新油。
油的牌号不符，应换规定牌号的真空泵油。
油路不通，真空泵腔内没有保持适当的油量，应检查油路及油阀的进油量，保持油路畅通。
内部零件磨损或损坏
转子弹簧变形或折断及旋片动作不灵，应整修或更换弹簧。
泵轴轴承位置磨损，包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位磨损，应采用高分子复合材料修复法。
壳体裂纹破裂，可能由于铸造、加工缺陷、内应力及超负荷运行等原因。
密封不良
密封圈漏气，应检查密封部位的密封情况，更换破损的密封圈。
气镇阀垫圈损坏或未拧紧，应更换垫圈并拧紧气镇阀。
排气阀片损坏，密封不好，应更换气阀片。
进气口的过滤网被堵塞，应取下过滤网清洗干净后再装上去。
电机故障
电机超电流，原因可能包括超大流量运行、叶轮与泵体口环擦碰、介质混入异物、电压过低、轴承损坏、转速过快、电缆线绝缘不够、电机绝缘不够等。
电机故障如转速下降、线圈烧毁等，会直接影响泵的抽气能力。
其他原因
汽水分离器水位不正常，真空系统阀门误开、关不严，管道和法兰泄漏，密封水异常，系统管道及低加连续放气管道损坏，低加水位计、大气释放阀、真空系统放水门、低压结合面等泄漏，小机排气系统不正常，冷却器冷却效果差，制冷机故障，水环真空泵故障等。
真空泵不工作且出口压力表及真空表指针剧烈跳动，可能是灌水量不够，抽/出气管路、密封仪表漏水，起动时出口阀门开启太大，底阀淹没深度不够，没灌满水有空气，进气管路漏气、安装不对堵气，出口处堵气逆止阀不能打开。
出现噪声及振动，可能是真空泵及管路中有空气未排除，偏离设计工况运行，超负荷运行，及管路支撑不良，发生气蚀。
达不到设计流量及扬程，可能是有异物，淹没深度不够，电源频率问题。
建议定期对真空泵进行维护保养，检查各部件的磨损情况，及时更换损坏的部件，保持油质清洁，确保冷却系统工作正常，以减少故障率并提高真空泵的工作效率。