X射线光电子能谱（XPS）是一种用于表面化学成分分析的技术，它通过使用X射线照射样品，测量从样品表面逸出的光电子的动能和数量，从而获得关于样品表面元素组成、化学状态和电子态的信息。以下是XPS的主要应用：
元素组成鉴别：
通过测量不同元素特征光电子峰的结合能来鉴定除氢（H）和氦（He）以外的所有元素。
化学态分析：
分析元素的化学位移、俄歇参数、伴峰结构等，以确定元素的化学状态。
定量分析：
根据光电子信号强度（光电子峰面积）来反应原子在样品表面的含量或相对浓度。
固体表面分析：
研究表面的化学组成、原子价态、表面能态分布、电子云分布和能级结构。
化合物结构分析：
精确测量内层电子结合能的化学位移，提供有关化学键和电荷分布的信息。
分子生物学应用：
例如，利用XPS鉴定维生素B12中的少量钴（Co）。
XPS技术因其非破坏性、高灵敏度和对化学分析的高度有用性，在材料科学、电子材料研究、催化剂分析、环境监测、生物医学等多个领域得到广泛应用