真空系统是一种用于创造低气压或无气压环境的系统，它由真空泵、辅助设备（如真空计、储气罐、真空阀门、冷阱等）以及连接这些组件的真空管道组成。该系统的主要职能是在指定的时间和空间内获得并维持所需的真空度，以确保系统内进行的工艺过程或物理过程能够顺利进行。
真空系统的主要组成部分：
真空泵：用于从系统中抽出气体，产生所需的真空环境。
真空计：用于测量系统内的气压，以监控真空度。
储气罐：用于存储抽出的气体，并在需要时释放。
真空阀门：用于控制气体的进出。
冷阱：用于吸附或捕集气体或油蒸汽。
真空系统的应用领域：
半导体行业：在芯片制造过程中用于关键工艺，如刻蚀、沉积等，确保产品的高精度和高纯度。
医药行业：在药品生产和医疗器械制造中创造无菌环境，确保产品安全可靠。
其他领域：如电子半导体业、光电背光模组、机械加工等。
真空度的概念：
真空度表示系统内气体的稀薄程度，通常用托（Torr）或帕斯卡（Pa）作为单位。
真空系统的检漏方法：
使用检漏仪，在系统上喷少量氦气，检漏仪有反应的地方就是漏点。
真空系统的其他概念：
极限真空：系统抽气后能达到的最低稳定真空度。
抽气速率：单位时间内由泵进气口处抽走的气体量。
气镇阀：用于降低机械真空泵中蒸汽的凝结。
真空系统在现代工业中扮演着至关重要的角色，特别是在需要精确控制环境条件的领域，如半导体制造和医药生产中。