扩散电阻是指在半导体材料中，通过扩散过程形成的电阻。在硅片中，扩散电阻可以通过将P型半导体材料扩散到N型衬底上制成。扩散电阻的灵敏度较高，并且其值通常与半导体材料的电阻率、载流子浓度分布等电学参数有关。
扩散电阻法是一种实验方法，用于测试半导体材料的扩散电阻、电阻率、载流子浓度分布等电学参数。该方法通过测量一系列点接触的扩展电阻，然后使用校准曲线来确定被测样品在探针接触点附近的电阻率，进而换算成系列测试点所对应的载流子浓度。
需要注意的是，扩散电阻与金属导体材料中的电阻不同，后者是由材料本身的性质决定的，而半导体中的扩散电阻则受到材料内部结构和掺杂浓度的影响。