俄歇电子是一种 原子内层电子被激发电离形成空位后，较高能级电子跃迁至该空位，多余能量使原子外层电子激发发射形成的电子。这个过程被称为俄歇效应，以发现此过程的法国物理学家P.V.俄歇命名。
俄歇电子的产生涉及以下步骤：
内层电子电离：
原子内层电子被高能粒子（如电子、光子）激发，电离形成空位。
高能级电子跃迁：
较高能级的电子跃迁到内层空位。
能量传递与发射：
多余的能量传递给外层电子，使其获得足够的能量逸出原子，形成俄歇电子。
俄歇电子的能量通常在50~1500eV之间，具体数值取决于不同元素和跃迁类型。由于俄歇电子的能量形式是光子能量，因此这个过程也可以以X射线的形式释放能量。
俄歇电子在材料科学和表面科学中有着重要应用，例如：
表面化学成分分析：
俄歇电子能谱技术（Auger Electron Spectroscopy, AES）通过测量俄歇电子的能量和数量，可以推断出样品表面的化学成分和原子结构。
深度分析：
由于俄歇电子在固体中的平均自由程非常短，它们可以用于分析样品表面几纳米深度的化学成分和结构。
综上所述，俄歇电子是一种重要的表面分析工具，能够提供关于材料表面和内部结构的详细信息。