臭氧的形成主要有以下几种途径：
光化学反应
臭氧是由氧气在太阳光的催化下发生光化学反应产生的。当太阳光中的紫外线照射到氧气分子时，氧气分子会断裂成自由氧原子，这些自由氧原子再与其他氧气分子结合形成臭氧分子。
闪电和紫外线照射
臭氧一般在普通氧气在闪电以及强烈紫外线照射下形成。闪电可以提供足够的能量使氧气分子分解并形成臭氧，而强烈的紫外线照射则是光化学反应的重要驱动力。
化学反应
在大气中，臭氧的产生还涉及到化学反应。例如，当大气中的污染物如挥发性有机物（VOCs）和氮氧化物（NOx）与氧气反应时，会生成一氧化氮等化合物，这些化合物再与氧气反应生成臭氧。
大气层中的过程
臭氧层位于平流层上部，其形成与太阳紫外线的照射密切相关。太阳光中的短波紫外线能够使氧分子分解成原子状态，这些原子状态的氧与周围的氧分子结合形成臭氧。这个过程被称为光化反应，臭氧层能够吸收大部分对流层中的紫外线，保护地球上的生物免受其伤害。
人工产生
除了自然产生外，臭氧还可以通过人工方法产生。常见的人工产生臭氧的方法包括紫外照射法、电解法、放射化学法和介质阻挡放电法。
综上所述，臭氧的形成主要通过光化学反应和特定的化学反应，涉及到太阳辐射、闪电、污染物等自然和人为因素。