影响真空度的因素主要包括以下几个方面：
抽气速率：
真空泵的抽气速率决定了单位时间内从真空室中抽出气体的量。抽气速率越大，越能快速地将真空室内的气体抽出，使真空度提高得更快。
极限真空度：
这是真空泵所能达到的最低压力值，反映了真空泵的本质性能。如果真空泵的极限真空度本身较低，即使长时间抽气，真空度也难以达到更高的水平。
密封材料与结构：
真空系统的密封性能对真空度有着至关重要的影响。若密封材料选择不当或密封结构设计不合理，就容易发生漏气现象。
焊缝与连接部位：
焊接质量差、焊缝存在气孔或裂纹等缺陷，以及管道、阀门等连接部位的松动或密封不良，都会成为漏气的通道。
材料放气：
真空系统中所使用的各种材料，如金属、玻璃、陶瓷等，在真空环境下都会有不同程度的放气现象。
温度：
由于任何物质由固态或液态转化为气态都需要能量，所以气温越高，分子运动越活跃，越容易将其抽出。此外，温度还会影响水分的挥发和凝结，从而影响真空度。
湿度：
空气中除了氮和氧以外，还有很多其他气体，水分就是其中之一，所以通常来讲湿度越大真空度越小。
清洁度：
如果真空室内有很多的油、酒精、水之类的可凝性气体，当真空度上升时这些成分就会气化分解，对高真空设备影响很大。
泵的装配间隙：
真空泵的精密性直接影响真空度，装配间隙的扩张是最不容易发现的，需要专业人员进行检测完善。
内部磨损：
长期使用后，真空泵内部的零件可能会磨损，如轴承、活塞等，这会减少泵的效率。
电机故障：
真空泵的电机是其动力来源，如果电机出现故障，如转速下降、线圈烧毁等，都会直接影响泵的抽气能力。
系统漏气：
漏气是限制极限压力的重要因素，系统一旦出现相当量的泄漏，系统内的极限压力就会受到限制。
容器内原有的气体的余压力：
极高真空系统开始抽气以前，容器及管道、冷阱等部件内预先贮存有一定量的气体，若用一定抽速的泵来排除容器内原有的气体，其压力随抽气时间呈指数递减。
综上所述，影响真空度的因素是多方面的，需要从真空泵的性能、密封性能、材料选择、温度控制、清洁度维护等多个方面进行综合考虑和优化，以确保达到所需的真空度。