气相清洗是一种利用溶剂蒸汽进行清洁的过程，主要通过以下几个步骤实现：
溶剂加热：
首先将清洗剂加热至沸腾，形成蒸汽。
气相区形成：
加热后的溶剂蒸汽扩散到被清洗物体的表面，形成一个气相区。在这个区域内，工件表面的油脂、污垢等污染物会被蒸汽溶解。
冷凝与冲洗：
蒸汽在工件表面冷凝，将溶解的污染物冲洗下来，落入清洗槽中，变成清洗液。
循环清洗：
清洗液加热后再次气化，与工件接触进行清洗，如此不断循环，确保工件始终与干净的清洗液蒸气接触，从而克服了常规清洗过程中清洗液被污染的问题。
干燥：
一些气相清洗设备还配备有冷冻干燥功能，可以通过机器自身的冷气装置将工件冷冻干燥，无需另设干燥设备。
气相清洗技术特别适用于需要高洁净度的电子组件和精密机械部件，具有以下优点：
清洗速度快：由于采用蒸汽清洗，清洗效率高，时间短。
清洗效果好：能够彻底去除工件表面的油脂、污垢等污染物。
无二次污染：清洗过程中清洗液不会受到重复污染，清洗液可以循环使用。
适用性强：适用于各种材质和形状的工件，特别是精密和小尺寸的部件。
气相清洗设备通常由超声波发生器、制冷压缩机组、清洗槽等组成，有单槽式和多槽式两种结构。根据不同的清洗需求，还可以选择不同的清洗剂，如三氯乙烯、二氯甲烷、碳氢清洗剂等。