电子真空泵是一种利用压电材料作为动力装置的真空泵，它通过电子集成系统完全控制气体的交换与传输，实现气体传输的可调性和精准性。与传统的电动机驱动的真空泵相比，电子真空泵具有体积小、抽取速度快、噪音低、维护简便等优点，并且可以实现非常高的真空度。电子真空泵适用于多种真空应用领域，如半导体制造、光学薄膜镀膜、真空冷冻、电子显微镜、科学实验和工业生产等。
电子真空泵的特点包括：
高效、低噪音、无油污染；
快速启动、高抽速、高真空度、长寿命；
彻底实现电子化，从控制到驱动；
微型化设计，集成度高；
适用于各种需要精确控制真空度的场合。
电子真空泵在汽车领域也有应用，例如为汽车的制动系统提供必要的真空度，帮助推动制动助力器的活塞，从而增强制动力。