蚯蚓养殖的审批流程包括以下步骤：
养殖场备案登记
养殖户需要向当地的农业行政部门申请备案，备案条件是具有一定规模的养殖场，具体规模标准看当地政府设置。
主要流程包括：备案申请、资料审查、核查备案、备案公告。
动物防疫条件合格证
养殖户要向当地政府和兽医管理部门提出申请，有关部门在20个工作日内完成相关材料和现场审查，合格后会颁发。
养殖档案
依法建立养殖档案，包括畜禽品种、数量、种苗来源和进出栏记录、饲料药物名称、类型等。
养殖用地审批
需要办理生产设施用地的备案手续，签订用地协议在国土局和农业局备案。
选址需通过规划局的审批，并且整个流程需要通过环评进行认定和分析预测，需要配套建设污染防治设施。
排污许可证、动物防疫条件合格证、野生动物驯养繁殖许可证等手续也需要办理。
最后，养殖户需到畜牧局办理养殖场备案登记手续。
其他相关手续
根据《自然资源部农业农村部关于设施农业用地管理有关问题的通知》等相关政策文件，蚯蚓养殖项目不属于设施农业用地，建议向当地乡镇人民政府、自然资源、农业农村主管部门咨询了解，查清项目拟选址用地现状和规划情况，符合规定的可依法依规办理农村一二三产业融合发展用地手续。
建议您在进行蚯蚓养殖前，仔细阅读当地的相关政策和规定，并咨询当地农业行政部门或专业养殖机构，以确保顺利完成所有审批手续。