臭氧杀菌的原理主要基于其强氧化性，通过以下几种方式破坏微生物的结构和功能，从而达到杀菌的目的：
氧化作用：
臭氧分子（O3）比氧气（O2）多一个氧原子，具有极强的氧化性。它能与微生物细胞内的酶、蛋白质、脂质等发生反应，破坏其结构和功能。
破坏细胞膜：
臭氧能作用于细菌细胞壁的脂质双键，穿透细胞膜，破坏其通透性，导致细胞内容物外泄，最终使细菌死亡。
作用于核酸：
臭氧还能作用于细菌的核酸，如嘌呤和嘧啶，破坏DNA结构，从而阻止其复制和繁殖。
酶活性抑制：
臭氧通过氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。
广谱杀菌：
臭氧对多种细菌繁殖体、芽孢、病毒、真菌及原虫都有良好的灭活效果，具有广泛的适用性。
无残留污染：
由于臭氧稳定性差，会很快自行分解为氧气或单个氧原子，不存在任何有毒残留物，因此是一种无污染的消毒剂。
综上所述，臭氧通过其强氧化性，破坏微生物的细胞膜、核酸和酶系统，迅速有效地杀灭各种微生物，且无残留污染。这使得臭氧在消毒、灭菌领域具有广泛的应用前景。