EDX是 能量色散X射线分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）的简称，有时也称为EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）。它是一种用于识别标本或其感兴趣区域的元素组成的技术。在EDX分析过程中，样本在扫描电子显微镜（SEM）内受到电子束的轰击，轰击的电子与样本原子自身的电子发生碰撞，并将其中一些电子击落，从而产生特征X射线。不同元素原子的能级结构不同，因此产生特征X射线的特征也不同，据此可以对样品进行定性分析，确定元素周期表中Be以上的物质元素。
EDX分析系统通常作为扫描电子显微镜的集成功能工作，没有SEM则无法单独运行。在分析过程中，不同元素在不同位置出现峰，峰的高低代表元素的相对含量大小。EDX技术可以分析元素周期表中从硼（B）到铀（U）的所有元素信息，广泛应用于材料微区成分元素种类与含量的分析，特别是在多学科领域和纳米尺度下的样品测试。
此外，EDX还可以与透射电子显微镜（TEM）或扫描透射电子显微镜（STEM）联用，通过分析穿过薄样品的电子的能量损失谱，提供识别和量化样品中元素的另一种手段。EELS（电子能量损失谱）数据还能提供关于样品的化学和晶体结构的信息，直至原子水平。
建议在实际应用中，根据具体需求和实验条件选择合适的分析技术，以获得准确和全面的元素分析结果。