特气柜，也称为特种气体储存柜或特种气体控制系统，是一种 专门用于储存和管理特种气体（如高纯度气体、腐蚀性气体等）的专业设备。这些设备在半导体制造、实验室研究、化工生产等领域中发挥着重要作用，因为气体的纯度和控制对于最终产品的质量和安全性至关重要。
特气柜的基本特性包括：
高安全性：
特气柜设计有压力调节、气体流量控制和安全保护功能，能够有效地保护和管理气体瓶，防止潜在的安全风险。
高纯度和高可靠性：
特气柜具有高精度的气体计量和控制系统，能够实现气体的精确控制和稳定供应，保证气体的纯净度和可靠性。
多种操作方式：
特气柜可分为全自动、半自动和手动操作，以适应不同用户的需求。
广泛应用：
特气柜广泛应用于化学、生命科学、制药和环保等领域，适用于高校实验室、材料分析实验室、芯片半导体、光伏太阳能电池、生物医药工程、微电子新材料等行业。
特气柜在工业生产中也有广泛应用，如电子、半导体、新能源等领域，为生产提供特殊气体，保证产品质量和性能。此外，特气柜作为半导体工厂中供气部分重要的组成部分，对于整个供气的安全、连续、稳定起到极为关键的作用。
综上所述，特气柜是一种专门用于储存和管理特种气体的设备，具有高安全性、高纯度和高可靠性，广泛应用于多个高科技领域，确保特殊气体的安全、有效供应。