同轴探针是一种 测量装置，主要用于电子测试设备中对硅片、管芯及开放式微芯片中的电子电路射频（RF）信号进行测量。它类似于同轴线，探针外围包含一个铜管的保护层，铜管与探针之间填充介质材料。同轴探针的设计可以提高射频同轴探针与射频传输线之间的频率阻抗匹配度，从而提高测量精度和效率。
同轴探针的应用领域包括：
电子电路射频信号测量：
用于硅片、管芯及开放式微芯片中的电子电路射频信号的测量。
高密度射频互连：
适用于连接器组件中窄间距或高密度射频互连的应用。
芯片工艺模型测试与监控：
在芯片制作全过程中，用于工艺模型测试、工艺监控和成品测试，以确保半导体芯片质量达到标准。
根据不同的测试需求和场景，同轴探针还可以分为宽频带同轴探针等类型，以满足不同频率和测试环境的要求。