EDS，即 能量色散谱仪（Energy Dispersive Spectroscopy），是一种用于材料中元素鉴别和成分分析的光谱分析仪器。其基本原理是利用高能电子束（10 keV – 200 keV）照射样品，与样品原子发生非弹性散射，使原子内壳层电子被激发并产生空位，从而测量X射线的能量分布。通过分析X射线的能量和强度，可以确定样品中元素的种类和含量。
EDS具有以下特点和应用：
高灵敏度：
能够检测低浓度的元素，适用于微量分析。
快速分析：
可以在短时间内（几分钟内）得到定性分析结果，而波谱仪需要逐个测量每种元素特征波长。
无需聚焦：
对样品表面无特殊要求，适用于粗糙表面分析。
高分辨率：
在透射电子显微镜（TEM）中，EDS甚至可以实现原子尺度（0.1nm）空间分辨率的元素分析。
广泛应用：
EDS广泛应用于几乎所有工业领域，通常作为扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）和场发射扫描电子显微镜（FIB）的附件，用于材料微区成分元素种类与含量的分析。
需要注意的是，EDS的分辨率相对较低，且只能分析原子序数大于11的元素。此外，EDS的Si（Li）探头需要保持在低温态，因此必须时时用液氮冷却。
总之，EDS是一种强大的成分分析工具，特别适用于材料科学、地质学、生物学等领域的微区成分分析。