MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是一种 微型机械电子系统，它集成了微型传感器、微执行器、微机械结构、微电源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口和通信等部件于一体。MEMS技术利用半导体生产工艺构造，具有微型化、低成本、集成化、智能化等优点。其系统尺寸通常在几毫米乃至更小，内部结构一般在微米甚至纳米量级。
MEMS器件主要分为两大类：
MEMS传感器：
用于检测物理、化学或生物现象的器件，能够感知和测量物体的特定状态和变化，并将这些状态和变化转换为电信号或其他可用信号。例如，压力传感器、加速度计、微陀螺仪等。
MEMS执行器：
用于产生机械运动、力和转矩的器件，能够将控制信号转换为微小机械运动或机械操作。例如，墨喷咀、硬盘驱动头等。
MEMS技术在许多领域都有广泛的应用，包括航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事等。随着物联网、移动设备和各种智能设备的快速发展，MEMS器件的需求和应用前景非常广阔。预计未来几年，MEMS器件的销售额将以较高的年平均增长率增长，为相关学科的发展提供机遇和挑战。