真空规是一种用于测量和监测真空系统中压力的设备。它基于不同的物理原理,通过测量气体分子在特定条件下的行为来确定真空的压力。真空规的种类繁多,包括热偶规、皮拉尼规、麦克劳德规等,它们可以用于不同真空度的测量,从低真空到极高真空。
真空规的工作原理:
热偶规:
利用热电离原理,通过测量气体分子在电场中离子化产生的电流来确定真空的压力。
皮拉尼规:
基于皮拉尼电阻原理,通过测量气体通过电阻丝时产生的热量来确定压力。
麦克劳德规:
利用玻意耳定律,通过测量气体在玻璃装置中被压缩后所支撑的液体高度来测量压力。
真空规的应用领域:
真空镀膜
太阳能集热管制作
真空冶炼
半导体制造
科学研究
真空焊接
金属冶炼
光伏装备
真空规的分类:
绝对真空计:直接测量气压,例如U形管、薄膜计、麦克劳德真空计等。
相对真空计:必须经过绝对真空计的校正才能测定气压,例如电离真空计、皮拉尼真空计、阻尼真空计等。
真空度的单位:
国际单位制(SI):帕斯卡(Pa)
托(Torr):1托等于1毫米高的汞柱所产生的压强,即1Torr=133.3224Pa
真空规的准备工作:
确认泵、管、密封垫等是否完好,并检查密封性能是否良好。
检查管身松紧度,必要时进行固定。
真空规的未来发展方向:
小型化、集成化、一体化、智能化、高效率。
真空规是真空技术中不可或缺的测量工具,对于科研和工业应用至关重要