EDS，全称为 能量色散X射线光谱法（Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy），是一种基于X射线能谱分析的技术。它通过使用高能电子束（如从电子显微镜产生的）撞击样品表面，激发样品中的原子并产生各种形式的辐射，特别是X射线。这些X射线包含了样品中各个元素的特征信息，通过检测这些特征X射线，可以确定样品中包含哪些元素以及各元素的含量。
EDS测试过程通常包括以下步骤：
样品制备：
对待测样品进行适当的制备处理，以确保其具有良好的导电性、平光性和抗电磁干扰能力。
电子束扫描：
在高能电子束的作用下，样品中各种元素的X射线能量被激发并散发出来。
X射线检测：
使用特制的检测器将收集到的X射线转化为能被仪器处理和显示的信号。
数据分析：
根据得到的能谱图进行分析，提取出元素及其分布、浓度等所需的信息。
EDS测试具有快速、非破坏性、高灵敏度和高分辨率等优点，能够分析元素周期表中B及以上原子序数的所有元素，分析范围可达1nm至10cm，在TEM中的EDS甚至可以实现原子尺度（0.1nm）空间分辨率的元素分析。
EDS测试在材料科学、化学、生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析等多个领域有广泛应用。