原子荧光光谱仪通常使用 氩气作为工作气体，它在工作中同时起到载气和屏蔽气的作用。氩气是一种惰性气体，具有稳定的电子结构（最外层电子数为8），因此结构稳定，不易与其他元素发生化学反应。此外，氩气的价格相对较低，也是其广泛使用的原因之一。
在原子荧光法中，氩气作为载气，将气态氢化物和过量氢气与载气混合后，导入加热的原子化装置。在特制的火焰装置中，氢气和氩气燃烧加热，使氢化物受热后迅速分解，被测元素离解为基态原子蒸气。氩气还能作为屏蔽气，防止氢化物被氧化，从而稳定原子化环境并抑制荧光猝灭。
尽管液相原子荧光法一般不使用气体，但在某些情况下，如火焰法的原子荧光光谱仪，也会使用液化石油气（LPG）和空气作为燃气和助燃气。
综上所述，原子荧光光谱仪主要使用氩气作为载气和屏蔽气，而在某些火焰法应用中，也会使用液化石油气和空气。