有多种仪器可以用于测量平面度，包括：
塞规/塞尺测量法：
这是一种传统的测量方法，通过使用一套可随身携带的塞尺来进行平面度的粗测。虽然这种方法精度不高，且检测效率较低，但它仍然被许多工厂用于常规检测。
激光平面干涉仪测量法：
这种方法主要适用于测量光洁的小平面，例如千分头测量面、量规的工作面和光学透镜等。通过平晶干涉法，可以直接以干涉条纹的弯曲程度确定被测表面的平面度误差值。
打表测量法：
这种方法使用平板测微仪和三坐标仪进行测量。测量时，指示器在待测样品上移动，按选定的布点测取各测量点相对于测量基准的数据，再经过数据处理评定出平面度误差。三坐标测量仪因其高精度和广泛的适用性，是应用最广泛的工具之一。
三坐标测量仪：
三坐标测量仪通过探针抵住被测表面的多个点位进行测量，能够获得高精度的平面度数据。适用于测量点较多、测量范围较广的情况。
激光测量仪：
激光测量仪利用激光技术精确测定平面位置变化，适用于测量大型平面的平面度误差。
桂量三维扫描测量仪：
这种仪器具有强大的扫描、数据处理和测量功能，能够快速实现平面度测量，适用于多种应用场景。
刀口尺：
刀口尺是一种简单的测量工具，用于测量工件的直线度或平面度误差。通过透光法检查刀口尺与工件表面之间的缝隙，可以评估平面度。
平面光带检测仪：
这种仪器基于光波干涉原理，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度，适用于高精度平面零件的检测。
液平面法：
这种方法使用液平面作为测量基准面，通过传感器进行测量，适用于测量大平面的平面度误差。
水平仪测量法：
水平仪用于测量时需要反复移动仪器的位置，虽然这种方法费时费力，但仍是常用的平面度测量方法之一。
根据具体的测量需求和精度要求，可以选择合适的测量仪器和方法。对于高精度和复杂表面的测量，建议使用激光平面干涉仪、三坐标测量仪或桂量三维扫描测量仪等先进技术。对于一般精度要求的场合，可以使用塞尺、打表测量法或水平仪等传统方法。