真空泵回油可能由以下原因造成：
冷却系统问题
冷却水路径不平滑或水压不足，导致冷却能力下降，使得真空泵上部变热，油蒸气不能很好地液化。
加热问题
真空泵加热器功率与额定功率不匹配，导致加热温度过高，产生大量蒸汽，引起回油。
油量问题
燃油量过高，高油量容易造成蒸汽量缓慢循环，停留在下级压缩，导致回油。
油氧化
真空泵油氧化，粘度和蒸汽流量受影响，不能达到喷射速度，自然回到真空室。
压力失衡
真空泵进出口压力失衡，导致泵内的油向进气口迁移，尤其是当压力值低于极限压力时。
密封问题
真空泵内部密封不良，如骨架密封损坏、排气阀片坏、气镇连接处连接不良等，导致油蒸气进入泵内。
设计不合理
泵的结构或尺寸不合理，如油池过大、吸入口过高、排气口过短等，导致油蒸气容易进入泵内并凝结成油滴。
油品问题
使用了不适合的润滑油或油品质量不佳，导致油蒸气过多或不易蒸发，形成油滴。
操作不当
抽速过快、抽气温度过高、冷却水温度过高、停泵时间过长等操作不当行为，也可能导致回油。
解决这些问题的方法可能包括调整冷却系统、更换加热器、调整燃油量、清洗或更换油、调整压力、修复密封件、改进泵设计、更换油品或调整操作参数等。