四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种 有机碱，其分子式为N（CH3）4+ OH−，是一种季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。它在五水合物时是一种相对稳定的固体形态，商业上通常以水溶液、甲醇溶液或五水合物的形式销售。TMAH的固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，这是由于其含有三甲胺的不纯物所致。
TMAH具有强碱性，能与酸反应生成相应的盐，并且易与空气中的二氧化碳反应。它在水中溶解后呈碱性，具有良好的溶解性，可以溶解许多有机化合物和某些无机物。在化学实验和工业生产中，TMAH被广泛应用于溶解和提取有机化合物。
TMAH在电子行业中尤为重要，特别是在光刻技术中，它被用作显影液，并广泛应用于集成电路（IC）、光电子（LED）、液晶显示（LCD）等高端电子行业。电子级TMAH必须满足半导体和微电子制造工业的严格要求，具有高纯度，主要用于电子半导体和显示器工业的光刻胶显影剂、硅片蚀刻剂、超纯清洗剂等。
此外，TMAH还有其他用途，例如在有机硅方面，它作为二甲基硅油、氨基硅油、苯甲基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有硅模塑料、有机硅树脂、硅橡胶等的催化剂。
在储存和处理TMAH时，应注意其强碱性和吸湿性，避免与皮肤和眼睛接触，并确保在通风良好的环境中操作。