干式泵是一种 无油或其他工作介质的机械真空泵。它能够从大气压力下开始抽气,并将被抽气体直接排到大气中,而泵腔内无需使用油、水或其他流体作为工作介质。干式泵的极限压力通常与油封式真空泵相当或接近。
干式泵的类型多样,可以根据工作原理和结构特点进行分类。常见的干式泵类型包括:
旋片式干式泵:
利用旋转偏心旋子与泵壳内壁之间的摩擦产生负压来吸入气体,适用于高真空灵敏度要求的工业领域。
螺杆式干式泵(如干式螺杆真空泵):通过两个以相反方向旋转的平行排列的螺杆转子来捕获和压缩气体,具有运行效率高、寿命周期长和成本低等优点。
往复式真空泵(又称活塞式真空泵):依靠汽缸内的活塞作往复运动来吸入和排出气体。
选择干式泵时,主要考虑其无油运行的特点,适用于需要高真空度且对清洁度有要求的场合,例如半导体制造、化学实验和医疗设备等。