EFU是 设备端风机过滤单元（Equipment Fan Filter Unit）的简称。它是一种自带动力、具有过滤功能的末端送风装置，通常安装在设备顶部末端。EFU通过内部的高效风机和过滤器组合，将洁净空气直接送入设备内部或周围环境，从而形成局部高洁净度微环境。
EFU的主要特点包括：
高效过滤：
EFU采用高效过滤器（如HEPA过滤器），能够去除空气中的尘埃、微粒和其他污染物。
自带动力：
EFU内置风机，无需外部电源即可运行，提供持续的洁净空气流。
模块化设计：
EFU可以模组化连接使用，便于根据洁净环境的需求进行扩展和调整。
低噪音：
相比传统的FFU，EFU通常具有更低的噪音水平，适用于对噪音要求较高的环境。
便于维护：
EFU的设计紧凑，便于日常维护和更换过滤器。
EFU广泛应用于半导体、FPD生产设备、洁净室等领域，如ICR洁净室、ME设备、腔室SHINSUNG过滤单元等。
建议在选择EFU时，根据具体应用环境和需求，选择合适的型号和配置，以确保其高效过滤和稳定运行。