电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma，简称ICP）是一种 利用电磁感应原理生成和维持等离子体的重要技术。其基本原理是射频电源通过电感线圈向气体中输入能量，进而在气体中生成高能粒子。ICP技术常用于材料分析、表面处理及半导体制造等领域。
电感耦合等离子体的构成主要包括等离子炬管、高频发生器（产生高频电流）、感应线圈、供气系统和雾化系统。其中，等离子炬管由三层同心石英玻璃管组成，切向引入外管的氩气是等离子工作气体或冷却气体，引入中管的氩气是辅助气体，内管中的氩气是载气，样品气溶胶被引入炬管。
ICP技术的主要特点包括：
高电离度：
电离度超过0.1%，含有大量的电子和正离子，且电子和正离子的浓度处于平衡状态，从整体来看是中性的。
高能量：
通过高频感应加热原理，使流经石英管的工作气体（通常为Ar）电离而产生火焰状的离子体，具有高温度和高能量的特点。
宽应用范围：
ICP技术广泛应用于质谱分析、光谱分析、表面处理等领域，如ICP-AES（电感耦合等离子体-原子发射光谱法）和ICP-MS（电感耦合等离子体质谱法）。
总的来说，电感耦合等离子体是一种高效、高灵敏度的等离子体源，广泛应用于多个高科技领域，并在材料科学、环境监测和工业生产中发挥着重要作用。