3D干涉仪是一种 用于测量物体表面的三维形貌的高精度仪器。其工作原理是利用光学干涉技术，将物体的形貌转化为可测量的干涉图案，再通过计算机进行图像处理和分析，从而得到物体表面的三维形貌。
3D干涉仪具有多种特点和应用：
非接触测量：
通过光学干涉技术实现，无需接触样品表面，保护样品免受损伤。
高精度：
能够以优于纳米级的分辨率进行测量，适用于从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面测量。
快速测量：
单次扫描可测量多芯连接器，例如96芯光纤，12芯及16芯连接器测量时间小于9秒。
广泛应用：
微纳加工、光学、半导体、材料、精密机械等领域。
多种测量模式：
例如红光和白光扫描测量模式，以及闭环控制实现30微米Z轴方向扫描范围。
常见型号包括DAISI 3D干涉仪和中图仪器的SuperViewW系列3D白光形貌干涉仪等，这些仪器广泛应用于研发、质量检测以及在线生产过程。
根据具体需求和测量对象，可以选择适合的3D干涉仪型号，以获得高精度的三维形貌测量结果。