真空查漏是 检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。它涉及使用适当的方法和仪器来判断真空系统、容器或器件是否存在漏气，确定漏孔的位置及漏率大小。漏气会导致系统、容器或器件无法达到预期的真空度，影响其性能和功能。
在真空技术中，漏孔尺寸微小且形状复杂，通常无法直接测量其具体大小，因此通过漏率来表示漏孔的大小。漏率是指单位时间内漏入系统的气体量，常用的单位有帕·米³/秒（Pa·m³/sec）或托·升/秒（Torr·L/sec）。
检漏技术包括多种方法，如气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和氦质谱检漏等。这些方法各有优缺点，适用于不同的检漏场景和需求。
在真空系统、容器、器件的制造过程中，检漏技术是确保其真空气密性的关键步骤。通过检漏，可以及时发现并封闭漏孔，从而维持系统内的真空状态。这对于保证设备的性能和延长使用寿命至关重要。
此外，真空查漏也是真空设备维护和检修的重要环节。通过定期检查和维护，可以确保真空设备处于最佳工作状态，提高设备销售额并延长使用寿命。
综上所述，真空查漏是一种重要的技术，用于确保真空系统的密封性和可靠性，广泛应用于多个领域，包括工业制造、航空航天、电子电气、医疗器械等。