SEM是扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope）的缩写，它是一种利用高能电子束扫描样品表面，通过电子束与样品相互作用产生图像的仪器。SEM具有高分辨率，能够提供样品的表面形貌、成分分析以及结构信息。它广泛应用于材料科学、生物学、医学、化学、环境科学和工业检测等领域。
SEM的主要特点和应用：
高分辨率成像：能够观察到纳米级别的微观结构。
多信号检测：可以同时收集二次电子、背散射电子、X射线等信号，用于形貌观察和成分分析。
放大倍率：通常在20,000倍到150,000倍之间连续可调。
大景深：提供立体感强、富有深度的图像，适合观察凹凸不平的表面。
样品制备简单：相比透射电镜，SEM样品制备要求较低。
多功能集成：许多SEM设备配备有X射线能谱仪，可进行显微组织形貌观察和微区成分分析。
SEM的组成部分：
电子枪：产生并加速电子束。
电磁透镜：将电子束聚焦成细小的探针。
扫描线圈：控制电子束在样品表面的扫描路径。
探测器：接收并转换电子与样品相互作用产生的信号。
显示器：将收集到的信号转换成图像显示出来。
SEM在科学研究、工业检测、材料开发等方面发挥着重要作用，是探索微观世界的重要工具