当前光刻学专业大学排名中，华中科技大学被公认为我国光电最强的大学，特别是在光刻技术方面。华中科技大学拥有光电类最强的实验室——国家光电实验室，这是五个国家实验室之一，专注于光电领域的研究。此外，该校还建有国际联合实验室、多个国家重点实验室以及国家工程实验室，聚集了众多海内外院士和博士导师，形成了强大的学术团队。学校位于光谷中心，周围有许多光电企业，为学生提供了良好的就业和创业环境。
清华大学也因其科研能力而受到认可，作为中国顶尖学府之一，清华大学在光刻技术领域同样有着显著的贡献和影响力。
这两所大学在光刻技术领域都有显著的优势和成就，是中国光刻学专业教育的重要基地