截至2024年，微机电系统工程专业大学排名如下：
清华大学
2024年校友会中国大学微机电系统工程专业排名（研究型）中，清华大学位列第一。
西北工业大学
在2024年校友会中国大学微机电系统工程专业排名（研究型）中，西北工业大学位列第二。
北京航空航天大学
2024年校友会中国大学微机电系统工程专业排名（研究型）中，北京航空航天大学位列第三。
哈尔滨工业大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，哈尔滨工业大学位列第二。
上海交通大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，上海交通大学位列第三。
华中科技大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，华中科技大学位列第四。
北京理工大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，北京理工大学位列第五。
天津大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，天津大学位列第六。
大连理工大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，大连理工大学位列第七。
浙江大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，浙江大学位列第八。
西安交通大学
2024年微机电系统工程专业排名前10名的大学中，西安交通大学位列第九。
建议：
清华大学在微机电系统工程专业中综合实力最强，办学水平最高，是首选。
西北工业大学和北京航空航天大学也是该专业的重要高校，具有很高的竞争力。
根据具体需求和职业规划，可以考虑其他进入前10名的大学。