1. 哈尔滨工业大学
2. 西安交通大学
3. 北京航空航天大学
4. 浙江大学
5. 东南大学
建议：
哈尔滨工业大学在仪器科学领域的排名一直较高，位居榜首，显示出其在这一学科的强大实力。
北京航空航天大学、浙江大学和东南大学也表现优异，位列前五。
如果考虑历史排名，2020年ARWU仪器科学与技术专业世界排名中，哈尔滨工业大学位列第一，北京航空航天大学第二。
这些排名综合了多个指标，包括重要期刊论文数、论文标准化影响力、国际合作论文比例、顶尖期刊论文数和教师获权威奖项数。具体排名可能会根据评价标准和数据来源有所调整。