在光刻机研发领域，以下是一些知名的高校：
清华大学：
清华大学在光刻机工件台方面表现出色，并且拥有强大的科研能力，是光刻机研发领域的重要高校之一。
北京大学：
北大清华微电子系在光刻技术方面也有较高的声誉与水平。
浙江大学：
浙江大学在光刻机研发领域也有一定的研究和贡献。
南京大学：
南京大学在光刻机研发领域表现突出。
上海交通大学：
上海交通大学在光刻技术领域也有一定的研究和贡献。
复旦大学：
复旦大学在光刻技术方面同样具有较高的声誉。
华中科技大学：
华中科技大学拥有光电类最强的实验室，如国家光电实验室，并在光刻技术方面取得了显著成就。
西安交通大学：
西安交通大学在光刻技术方面也有一定的研究和贡献。
哈尔滨工业大学：
哈尔滨工业大学在光刻机研发领域也有一定的研究和贡献。
中国科学技术大学：
中国科学技术大学在光电子领域有较高的声誉与水平。
这些高校在光刻机研发领域都有各自的优势和贡献，建议根据具体研究方向和兴趣选择合适的学校进行深入学习。