当前，根据提供的信息，以下是微机电系统工程（MEMS）传感器专业大学排名情况：
1. 清华大学 - 排名第一
2. 哈尔滨工业大学 - 排名第二
3. 上海交通大学 - 排名第三
4. 华中科技大学 - 排名第四
5. 北京理工大学 - 排名第五
6. 天津大学 - 排名第六
7. 大连理工大学 - 排名第七
8. 浙江大学 - 排名第八
9. 西安交通大学 - 排名第九
10. 北京航空航天大学 - 排名第十
请注意，这些排名可能会随着时间和不同评价机构的更新而有所变化。如果您需要最新的排名信息，建议访问相关教育评估机构的官方网站或查阅最新的教育评估报告