mems

根据提供的信息，以下是微机电系统工程（MEMS）专业在国内的大学排名情况：

1. 清华大学

2. 哈尔滨工业大学

3. 上海交通大学

4. 华中科技大学

5. 北京理工大学

6. 天津大学

7. 大连理工大学

8. 浙江大学

9. 西安交通大学

10. 北京航空航天大学

请注意，排名可能会随着时间和不同评价机构的标准而有所变化。如果您需要最新的排名信息，建议查阅最近的官方发布或权威教育评估机构的数据