当前，中国有许多大学设有MEMS（微机电系统）专业，以下是一些知名的大学及其相关实验室或研究中心：
1. 清华大学
微电子学研究所微纳器件与系统研究室
微米/纳米技术研究中心
电子封装技术研究中心
2. 哈尔滨工业大学
微电子机械系统教育部重点实验室
3. 上海交通大学
微纳科学技术研究院
微电子科学与工程学院
4. 北京理工大学
MEMS与智能微系统研究所（i2MEMS）
微电子学院
5. 东南大学
微电子机械系统教育部重点实验室
6. 西安交通大学
微电子科学与工程学院
7. 华中科技大学
微电子科学与工程学院
8. 天津大学
MEMS师生羽毛球战队（虽然这是体育活动，但也反映出学校对MEMS的重视）
9. 浙江大学
微电子科学与工程学院
10. 北京航空航天大学
微电子科学与工程学院
这些大学中的MEMS专业通常涵盖了从设计、制造到应用的全过程，并且很多学校都配备了先进的实验设施和研究中心，为学生提供了良好的学习和研究环境。
如果您对MEMS专业感兴趣，并考虑进一步的教育或研究，这些建议可能对您有所帮助。