光刻机是制造集成电路的核心设备，其研发涉及多个学科领域。以下是一些与光刻机相关的大学专业：
光学专业：
光刻机使用光学系统进行图案的投射和成像，因此光学专业是光刻机研发的基础。
物理学专业：
光刻机使用激光或光源进行光照，需要了解光的特性、光学器件的原理和性能。
电子工程专业：
光刻机中的控制系统、电路和传感器需要电子工程师进行设计和维护。
机械工程专业：
光刻机的机械部分包括平台、运动系统和结构，需要机械工程师进行设计和制造。
材料科学专业：
光刻机使用的光刻胶和掩膜需要材料科学家进行研发和选择。
化学工程专业：
光刻机中的化学处理步骤，如清洗、显影和腐蚀，需要化学工程师进行设计和优化。
计算机科学专业：
光刻机中的控制软件和图像处理软件需要计算机科学家进行开发和优化。
集成电路设计与集成系统专业：
这个专业是2003年教育部针对国内对集成电路设计和系统设计人才大量需求的现状而设立的本科专业之一，旨在培养具有坚实的理论基础和丰富的集成电路开发、电子系统集成和工程管理能力的复合型和应用型高级人才。
能源动力类专业：
造光刻机需要学能源动力类专业，具体专业包括热能与动力工程、核工程与核技术、工程物理、能源环境工程及自动化、能源工程及自动化、能源动力系统及自动化、热能动力设备与应用。
机电一体化专业：
这个专业能够让光刻机技术得到机电一体化的专门学士教育，同时培养学生的制作能力。
建议选择上述专业进行深入学习，以掌握光刻机研发所需的多学科知识。