在光刻专业领域，国内一些知名的高校如下：
清华大学：
清华大学在人工智能和光刻机研发领域都有显著的研究成果和优秀的科研团队。
北京大学：
北京大学在光刻机研发和微电子专业方面也有很好的表现。
上海科技大学：
上海科技大学在光刻机研发领域表现突出。
浙江大学：
浙江大学在光刻机研发方面也有一定的研究实力。
南京理工大学：
南京理工大学在光刻机研发领域有相关的研究。
中科院半导体研究所：
该研究所在光刻机研发和材料科学领域都有深入的研究。
天津大学：
天津大学在材料科学领域，特别是光刻胶相关方向有不错的表现。
北京化工大学：
北京化工大学在材料科学领域，与光刻胶相关的研究也较为突出。
大连理工大学：
大连理工大学在材料科学领域有一定的研究实力。
华东理工大学：
华东理工大学在材料科学领域，特别是光刻胶相关方向有不错的表现。
华中科技大学：
华中科技大学在光电领域有强大的实验室和研究实力，尤其是国家光电实验室。
这些高校在光刻专业领域都有各自的研究方向和优势，建议根据个人兴趣和职业规划，选择合适的大学进行深入学习。